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SENresearch 高性能光谱椭偏仪
SENTECH SENresearch 高性能光谱椭偏仪
最近更新日期：2007-05-10
厂商名称： SENTECH
商品名称： 高性能光谱椭偏仪
商品型号： SENresearch
简单信息： SENresearch高性能宽波段光谱椭偏仪系列，针对满足现代研究的需求，能够高精度测量薄膜厚度，折射率，吸收系数，并能够描述材料性质，如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。
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偏仪系列，针对研发领域薄膜、材料分析
光谱范围: 190-2500 nm

　　SENresearch宽波段光谱椭偏仪系列针对满足现代研究的需求，为任何应用都能够提供出色的测量速度和精确度。
该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度，折射率，吸收系数，并能够描述材料性质，如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。
　　SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品，如退偏效应，非均匀样品，散射和背板反射。SENresearch 由SpectraRay II软件操作, 完善的软件能够测量数据，建模，拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。

research系列各型号的光谱范围:

　　步进扫描分析器工作模式，超消色差单色仪，电脑控制起偏器，UV-VIS波段快速二极管/CCD阵列探测器和NIR波段干涉仪调制探测器能提供快速测量和高信噪比，并为任何测量在全部psi,delta范围（0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).）都提供最高的测量精度。
　　SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态，修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。
　　SENTECH先进的地貌图扫描选项，支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性（最小每点5秒）。数据可按照设定的地图图案表现为2D-, 3D-或等高线图，并能够进行全面统计分析。

　　SENresearch 能够测量反射率、透射率。光度测量数据可通过SpectraRay II 软件分析。
可选自动角度计，提供更大范围入射角度(20-90 deg)。可选低温保持器用于温度控制测量。

SENresearch 技术指标:

光谱范围: (* 括号中表示可扩展光谱范围)

SE 800:

(290) 350 – 850 nm

SE 850:

(290) 350 – 1700 (2500) nm

SE 800 DUV

190 – 950 nm

SE 850 DUV

190 – 1700 (2500) nm

SE 850 Z

(290) 350 – 1700 nm

起偏器/分析器:

电机驱动，步进扫描分析器操作模式

补偿器:

超级消色差补偿器

光源:

Xe 灯, 氘灯, 卤素钨灯 (UV-VIS), 卤素钨灯(NIR)

探测单元:

二极管阵列 / CCD 阵列(UV-VIS), FT-IR光谱仪 (NIR)

样品校准:

自动对准镜，高精度校准高度、倾斜度

样品尺寸:

最大300 mm

软件:

SpectraRay II

选项:

角度计:

电机驱动

Mapping地貌图扫描:

电机驱动，从50 x 50 mm2 至300 x 300 mm2

微细光斑:

200 µm 光斑直径，或可定制更小值

低温保持器

4 K – 700 K

液体膜测量单元

 
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