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SENTECH SENresearch 高性能光谱椭偏仪 |
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最近更新日期:2007-05-22 |
| 厂商名称: |
SENTECH |
| 商品名称: |
高性能光谱椭偏仪 |
| 商品型号: |
SENresearch |
| 简单信息: |
SENresearch高性能宽波段光谱椭偏仪系列,针对满足现代研究的需求,能够高精度测量薄膜厚度,折射率,吸收系数,并能够描述材料性质,如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。 |
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偏仪系列,针对研发领域薄膜、材料分析
光谱范围: 190-2500 nm
SENresearch宽波段光谱椭偏仪系列针对满足现代研究的需求,为任何应用都能够提供出色的测量速度和精确度。
该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度,折射率,吸收系数,并能够描述材料性质,如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。
SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品,如退偏效应,非均匀样品,散射和背板反射。SENresearch 由SpectraRay II软件操作, 完善的软件能够测量数据,建模,拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。
research系列各型号的光谱范围:
步进扫描分析器工作模式,超消色差单色仪,电脑控制起偏器,UV-VIS波段快速二极管/CCD阵列探测器和NIR波段干涉仪调制探测器能提供快速测量和高信噪比,并为任何测量在全部psi,delta范围(0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).)都提供最高的测量精度。
SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态,修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。
SENTECH先进的地貌图扫描选项,支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性(最小每点5秒)。数据可按照设定的地图图案表现为2D-, 3D-或等高线图,并能够进行全面统计分析。
SENresearch 能够测量反射率、透射率。光度测量数据可通过SpectraRay II 软件分析。
可选自动角度计,提供更大范围入射角度(20-90 deg)。可选低温保持器用于温度控制测量。
SENresearch 技术指标:
光谱范围: (* 括号中表示可扩展光谱范围) | SE 800: | (290) 350 – 850 nm | SE 850: | (290) 350 – 1700 (2500) nm | SE 800 DUV | 190 – 950 nm | SE 850 DUV | 190 – 1700 (2500) nm | SE 850 Z | (290) 350 – 1700 nm | 起偏器/分析器: | 电机驱动,步进扫描分析器操作模式 | 补偿器: | 超级消色差补偿器 | 光源: | Xe 灯, 氘灯, 卤素钨灯 (UV-VIS), 卤素钨灯(NIR) | 探测单元: | 二极管阵列 / CCD 阵列(UV-VIS), FT-IR光谱仪 (NIR) | 样品校准: | 自动对准镜,高精度校准高度、倾斜度 | 样品尺寸: | 最大300 mm | 软件: | SpectraRay II |
选项:
角度计: | 电机驱动 | Mapping地貌图扫描: | 电机驱动,从50 x 50 mm2 至300 x 300 mm2 | 微细光斑: | 200 µm 光斑直径,或可定制更小值 | 低温保持器 | 4 K – 700 K | 液体膜测量单元 | | |
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