http://www.jicheng.net.cn　东方集成网
SE801 在线式光谱椭偏仪
SENTECH SE801 在线式光谱椭偏仪
最近更新日期：2007-04-04
厂商名称： SENTECH
商品名称： 在线式光谱椭偏仪
商品型号： SE801
简单信息：
我要留言     同类商品比较

SE 801 – 光谱椭偏仪，用于在线控制
　　SE 801是基于快速二极管阵列探测器的UV/VIS波段高性能光谱椭偏仪，可在全光谱范围快速测量并分析数据。最小测量时间为100ms（对1024个测量点）。SE 801能够监控薄膜生长和刻蚀的动态过程，对复杂样品结构和不同环境都能测量。

技术指标:

波长范围                   

350 nm - 850 nm (可选280 nm - 850 nm)

测量时间

最小100ms

光源

75 W Xe灯光源

探测器

二极管阵列, 1024 个测量单元

适配器

用于安装在反应腔的全套装备

样品厚度

椭偏仪入射光高度可调节

窗口

应力释放窗口

软件

SpectraRay II  ，基于Windows XP系统

选项:
UHV应力释放窗口
附加置换单元，可使椭偏仪正面向上
手动角度计，步进５°，固定样品台，１５０mm样品直径。
http://www.jicheng.net.cn　东方集成网