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SENTECH SE801 在线式光谱椭偏仪 |
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最近更新日期:2007-04-27 |
| 厂商名称: |
SENTECH |
| 商品名称: |
在线式光谱椭偏仪 |
| 商品型号: |
SE801 |
| 简单信息: |
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SE 801 – 光谱椭偏仪,用于在线控制
SE 801是基于快速二极管阵列探测器的UV/VIS波段高性能光谱椭偏仪,可在全光谱范围快速测量并分析数据。最小测量时间为100ms(对1024个测量点)。SE 801能够监控薄膜生长和刻蚀的动态过程,对复杂样品结构和不同环境都能测量。
技术指标:
波长范围 | 350 nm - 850 nm (可选280 nm - 850 nm) | 测量时间 | 最小100ms | 光源 | 75 W Xe灯光源 | 探测器 | 二极管阵列, 1024 个测量单元 | 适配器 | 用于安装在反应腔的全套装备 | 样品厚度 | 椭偏仪入射光高度可调节 | 窗口 | 应力释放窗口 | 软件 | SpectraRay II ,基于Windows XP系统 |
选项:
UHV应力释放窗口
附加置换单元,可使椭偏仪正面向上
手动角度计,步进5°,固定样品台,150mm样品直径。
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