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SENTECH SE801 在线式光谱椭偏仪

SENTECH SE801 在线式光谱椭偏仪
最近更新日期:2007-04-27
厂商名称:

SENTECH

商品名称: 在线式光谱椭偏仪
商品型号: SE801
简单信息:
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SE 801 – 光谱椭偏仪,用于在线控制
  SE 801是基于快速二极管阵列探测器的UV/VIS波段高性能光谱椭偏仪,可在全光谱范围快速测量并分析数据。最小测量时间为100ms(对1024个测量点)。SE 801能够监控薄膜生长和刻蚀的动态过程,对复杂样品结构和不同环境都能测量。

技术指标:

波长范围                   

350 nm - 850 nm (可选280 nm - 850 nm)

测量时间

最小100ms

光源

75 W Xe灯光源

探测器

二极管阵列, 1024 个测量单元

适配器

用于安装在反应腔的全套装备

样品厚度

椭偏仪入射光高度可调节

窗口

应力释放窗口

软件

SpectraRay II  ,基于Windows XP系统


选项:
UHV应力释放窗口
附加置换单元,可使椭偏仪正面向上
手动角度计,步进5°,固定样品台,150mm样品直径。

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