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SENTECH Reflectometer RM 反射膜厚仪 最近更新日期：2007-04-27 厂商名称： SENTECH 商品名称： 反射膜厚仪 商品型号： Reflectometer RM 简单信息： 高精度宽波段反射膜厚仪，可测量分析膜厚、光学常数、材料组分  我要留言  同类商品比较  打印页 　　SENTECH ’ Reflectometer RM能够在UV-VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率 关键特性: • 高精度反射率测量，非接触，正入射光 • 宽光谱范围，可从 UV至NIR • 测量反射率曲线R, 薄膜厚度，折射率 • FTPexpert 软件，用于测量薄膜的光学参数 • 测量半导体混合物的组分 (例如： AlGaN on GaN) • 分析各向异性薄膜 选项: • 光谱范围扩展至DUV (200 nm) • 光谱范围拓展至NIR (1700 nm) • x-y 地貌图扫描样品台和软件 • 摄象头 • PC 技术指标: 型号 RM 1000 RM 2000 测量数据 反射率R 分析和输出 薄膜厚度、折射率和其他数据 薄膜厚度范围 up to 25μm up to 50μm 膜厚精度度 好于1 nm (对 400 nm SiO /Si) 或好于1%(对厚度大于1000 nm的薄膜) 准确度(1 σ) 0.3 nm (对400 nm SiO2/Si) 测量时间 Typical 300 ms 光谱范围 450-920nm 240-950nm 光斑直径 80μm 0.5mm 光源 稳定的氘灯和卤素灯光源 探测器 SMA光纤输入分光计，高性能光电二极管阵列测量光谱强度 机架 19” 桌面式控制盒 电源 85...264 VAC 宽电压范围 电源接口   IEC 60320-C14 (针对不同国家电源而不同) 电源线 针对不同国家电源而不同 网络连接器 RJ-45 对用户PC的需求 桌面式PC、显示器、键盘、鼠标，或笔记本电脑，最低配置 600 MHz, 256 MB, 100Mbit网卡(100Base-T), CD-ROM, WinXP系统

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