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SENTECH LaserPro 激光椭偏仪

SENTECH LaserPro 激光椭偏仪
最近更新日期:2007-04-27
厂商名称:

SENTECH

商品名称: 激光椭偏仪
商品型号: LaserPro
简单信息: 经济型激光椭偏仪
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经济型激光椭偏仪 LaserPro
  LaserPro 椭偏仪是全新设计的经济型激光椭偏仪,能够快速测量数据(测量数据时无移动器件),简单易用
  LaserPro 能够测量单层膜的厚度和折射率。可变入射角度测量,使得LaserPro能够消除测量的厚度不确定性并分析多层膜样品

规格
• 激光波长632.8 nm
• (z-tilt)样品台, 25 mm x-y方向移动
• 可调入射角度的角度计,从45° 至 70°,步进5º
• 较小的测量范围
• USB 连接, PC为可选件

LaserPro软件特性:
• 单次测量,可得薄膜厚度和折射率
• 在线输出测量报告
• 快速测量psi和delta (最快值40 µs, 典型值 1ms)
• 多角度测量

选项
• 150 mm 直径样品台

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