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FTPadvanced 反射式膜厚仪
SENTECH FTPadvanced 反射式膜厚仪
最近更新日期：2007-04-01
厂商名称： SENTECH
商品名称： 反射式膜厚仪
商品型号： FTPadvanced
简单信息：
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主要特性:
• 包含厂家预设的和用户自定义的广泛的应用数据库，可直接使用
• 广泛的材料数据库，来源于SENTECH光谱椭偏仪分析数据
• 可测量半导体上的电介质膜，半导体上的半导体薄膜，硅上的 聚合物膜，透明基底上的薄膜和金属基底上的薄膜
• AutoModel选项，可自动识别不同的常规应用

更多特性:
• 测量透明膜和弱吸收膜的厚度和折射率
• 菜单驱动软件，操作简易
• 全光谱测量时间小于 300 ms
• 32位软件，基于WinNT, Win2000, WinXP等操作系统
• 可进行连续测量
• 高精度和高重复性测量，膜厚范围从50nm至20000nm
• 可预先定义应用程序，操作简易
• 多层膜中的指定膜层能够被测量
• 统计分析，测量数据和对样品的操作都在protocol中显示，数据 能够被保存和打印
• Mapping选项，包括计算机控制扫描样品台和分析软件

技术指标

测量时间

300 ms

膜厚范围:

50 - 20000 nm (FTPadv-1),
50 - 25000 nm (FTPadv-2)

准确度 (对0.4微米薄膜):

1 nm

精度 (对0.4微米薄膜):

0.3 nm (1 sigma)

 

测量光斑直径，使用显微镜 (FTPadv-1):

80微米直径，使用10x 镜头;

不使用显微镜(FTPadv-2):

2-4 mm直径 (取决于样品到物镜的距离)

 

光源  .

高稳定20 W卤素灯, 光纤连接
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