Keithley 4200A-SCS 半导体特性分析系统

使用 4200A-SCS 加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 最高性能参数分析仪，提供同步电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 测量。

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪 概述

参数查看，快速清晰。

大胆发现从未如此容易。 4200A-SCS 参数分析仪可将检定和测试设置的复杂程度降低高达 50%，提供清晰且不折不扣的测量和分析功能。 另外，嵌入式测量专业知识（业界首创）可提供测试指南并让您对结果充满信心。

特点

• 内置测量视频采用英语、中文、日语和韩语
• 使用数百个用户可修改应用测试开始您的测试
• 自动实时参数提取、数据绘图、算数函数

测量、 切换、 重复。

4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换，无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同，四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看，可快速完成测试设置，并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。

特点

• 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
• 用户可配置低电流功能
• 个性化输出通道名称
• 查看实时测试状态

检定、 自定义、 最大化。

简单地说，4200A-SCS 可以完全自定义且全面升级，您可以对半导体设备、新材料、有源/无源组件、晶片级可靠性、故障分析、电化学或几乎任何类型的样本执行电气检定和评估。

特点

• NBTI/PBTI 测试
• 随机电报噪声
• 非易失内存设备
• 稳压器应用测试

带分析探测器和低温控制器的集成解决方案。

4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器，包括 Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。

特点

• “点击”测试定序
  
• “手动”探测器模式测试探测器功能
  
• 假探测器模式无需移除命令即可实现调试
  

降低成本并保护您的投资

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Keithley 4200A-SCS 参数分析仪 规格

型号	说明
4200A-SCS-PK1 高分辨率 IV 套件	210V/100mA，0.1 fA 分辨率 对于两端和三端设备，MOSFET、CMOS 检定套件4200A-SCS-PK1 包括： 4200A-SCS 参数分析仪 (2) 4200-SMU 模块 (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 8101-PIV 测试夹具与采样设备
4200A-SCS-PK2 高分辨率 IV 和 CV 套件	210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 对于高 K 电解质，深亚微米 CMOS 检定套件4200A-SCS-PK2 包括： 4200A-SCS 参数分析仪 (2) 4200-SMU 模块 (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 4210-CVU 电容-电压模块 (1) 8101-PIV 测试夹具与采样设备
4200A-SCS-PK3 高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件	210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 对于功率设备、高 K 电解质，深亚微米 CMOS 设备检定套件4200A-SCS-PK3 包括： 4200A-SCS 参数分析仪 (2) 4200-SMU 模块 (2) 4210-SMU (1) 4200-PA 前置放大器 (1) 4210-CVU 电容-电压模块 (1) 8101-PIV 测试夹具与采样设备
4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件	用于使用尖端 CMOS 技术套件进行复杂的 NBTI 和 PBTI 测量4200-BTI-A 包括： (1) 4225-PMU 超快 I-V 模块 (2) 4225-RPM 远程前置放大器/开关模块 自动化检定套件 (ACS) 软件 超快 BTI 测试项目模块 电缆

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪 应用

半导体可靠性

在执行复杂的可靠性测试时，4200A-SCS 可以帮您处理复杂的编码工作。 内含热载波注入劣化 (HCI) 等项目，使您能够快速开始设备分析。

特点

• 只需一组测试，即可满足您的直流 I-V、C-V 和脉冲测量需求
• 支持多种探头站和外部仪器
• 循环系统易于使用，允许在无需编码的情况下重复测试

提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能

采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用，同时可与 4210-CVU 结合使用，执行更高频率测量。

特点

• .01 ~ 10 Hz 频率范围，1 pF ~ 10 nF 灵敏度
• 3? 位典型分辨率，最小典型值 10 fF

非易失内存

通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为最新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试，从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。


VCSEL 测试

4200A-SCS 中的多个并行源测量单元 (SMU) 仪器可简化激光二极管测试。 仅使用一台机器连接即可生成 LIV（光强-电流-电压）曲线。 高级探头站和开关支持使您能够使用相同的仪器对单个二极管或整个阵列进行晶圆生产测试。 SMU 可配置为高达 21 W 容量，适用于多种连续波 (CW) VCSEL 应用。


纳米级设备检定

4200A-SCS 的集成仪器功能可简化碳纳米管等纳米级电子器件开发方面的测量要求。 从预配置测试项目开始着手，逐步扩大您的研究工作范围。 SMU 的脉冲源模式可帮助缓解过热问题，数秒内即可完成与低电压 C-V 和超快速脉冲直流测量的组合。


材料电阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。内含测试可自动重复执行范德堡计算，节省您宝贵的研究时间。10aA 的最大电流分辨率和大于 10????16 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。


MOSFET 检定

4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器，用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮，即可运行所有这些测试。

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪 模块

模块	说明
4200-BTI-A	超快速 BTI 包
4200-PA	远程预放大器模块
4200-SMU	中功率源测量单位
4200A-CVIV	I-V/C-V 多开关模块
4210-CVU	电容-电压单位
4210-SMU	大功率源测量单元
4220-PGU	高电压脉冲发生器单元
4225-PMU	超快速脉冲测量单位
4225-RPM	远程预放大器/开关模块
4200-SMU-R	可现场更换的 MPSMU
4210-SMU-R	可现场更换的 HPSMU